Handykamera-Fokusierung

• Bewegung in x-, y- und z-Richtung je 200 µm
• Positioniergenauigkeit 2 µm in allen 3 Achsen
• Dynamik: Verfahrweg 400 µm innerhalb 20 ms
• Baugröße 12,5 mm x 12,5 mm x 7,5 mm